至纯科技（603690.SH）4月29日晚间发布2021年年报，2021年，公司实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%；实现归母净利润2.82亿元，同比增长8.12%；实现扣非净利润1.62亿元，同比增长46.57%；2021年经营活动产生的现金流量净额为-1.91亿元。

至纯科技2000年成立，从高纯工艺系统起步，逐步拓展了BU1-5五个事业部，分别开展湿法设备/晶圆再生、高纯工艺系统、先进工艺材料、生物制药工艺、光传感及光器件业务，目前超过70%的业务在半导体领域。

公司年报显示，营业收入同比增长主要系公司半导体板块业务增长的收入贡献，包括半导体制程设备业务、工艺支持设备业务及高纯工艺系统服务业务等。2021年，至纯科技半导体设备实现营收7.01亿元，同比增长222.06%，毛利率同比提高2.63个百分点。

2021年，至纯科技半导体设备业务板块开始发力，持续在已有用户端得到重复订单，并持续开拓新用户。2021年，公司拿到13位用户的重复订单，期间又开拓了10位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业。

“我们至纯非常在意单个用户的复购，高纯工艺系统我们已经有大量的用户复购。湿法设备虽然起步晚，但基于一贯的至纯的务实专业的作风，也在往这个趋势去；我们特别关注单个用户全线购买至纯的湿法设备。”至纯科技董事长蒋渊此前在接受第一财经专访时表示。

至纯科技于2015年开始布局研发的湿法设备在2021年迎来了高速增长，全年湿法设备的订单达11.20亿元，同比增长111.32%。2021年其单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超97台；12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8亿元。

研发投入方面，根据通联数据Datayes！，2021年至纯科技研发投入为3.02亿元，占营业收入14.50%。蒋渊此前对第一财经表示，“至纯将资源尽量倾斜在湿法设备中。我们投入的都是自有资金，未来研发力度会随着我们资源变多而加大。未来也会和我们的用户一起做研发。”

至纯科技在年报中提到了2022年经营计划，2022年公司的新增订单目标为超过40亿元，其中湿法设备的新增订单目标为超过20亿元，新增订单中预估单片设备会占到60%。

至纯科技还表示，2022年公司核心的运营重点在于进一步增加湿法设备的产能，进一步扶植和培养在地化的供应链上游企业，以应对进口供应链的长交期以及逐渐解决进口长交期部件占用公司资金限制产能的问题。公司将在2022年度将湿法设备的产能增加到2021年的一倍。新增产能以高阶单片设备为主。

至纯科技同时披露了2022年一季报，一季度公司营业收入同比增长136.98%，归母净利润同比下滑70.78%，扣非净利润大增1130.87%。其中归母净利润下滑主要原因系上年同期收到政府补助及一季度公司持有交易性金融资产等公允价值变动逾-2000万元，主要为间接持有韦尔股份本期公允价值变动。

值得注意的是，经初步核算统计，2022年1-4月至纯科技新增订单18.02亿元，其中半导体湿法设备新增订单6.31亿元。光大证券在研报中表示，至纯科技能提供全部28nm节点湿法设备，有望成为高端湿法设备的领先者，预计公司2022年湿法设备订单有望达到20亿元，该业务步入放量期。