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东吴证券指出，下游需求旺盛，叠加国产替代驱动，2022年本土半导体设备行业龙头业绩有望延续高速增长；交易层面上，当前半导体设备行业板块估值处在历史偏下位置。重点推北方华创、长川科技、芯源微、至纯科技、拓荆科技、华海清科、中微公司、华峰测控、盛美上海。建议关注精测电子、万业企业。
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